潔凈技術是一門綜合技術,其核心技術包括生產工藝技術及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產品生產所需的專業技術(如微電子產品生產所需的高純物質——— 高純水、高純氣、高純化學品的相關專業技術等)。這些專業技術在潔凈室設計中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著產品生產的需要,相互協調、統籌安排。潔凈廠房的設計和建造就是要在做好各相關專業設計的基礎上,做好各項安全設施——— 消防、防火、防爆、安全報警,確保潔凈室的安全運行。與此同時,它還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質的輸送質量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護。
